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申请/专利权人：深圳市晶扬电子有限公司

摘要：本发明公开了一种具有滞回特征的气流传感器，其包括一振膜，振膜承受的压力与振膜的位移之间构成一振膜压力‑位移关系曲线图，振膜压力‑位移关系曲线图具有以下特征：当振膜承受的压力从零开始增加时，振膜的位移相应增加；当振膜承受的压力增加达到一预设的触发压力值P_tr时，振膜的位移产生幅度为T1的正向跳变；当振膜承受的压力由高至低逐渐减小时，振膜的位移相应减小，当振膜承受的压力减小到一预设的释放压力值P_rs时，振膜的位移产生幅度为T2的负向跳变；其中，P_tr＞P_rs。

主权项：1.一种具有滞回特征的气流传感器，其特征在于，包括一振膜，振膜承受的压力与振膜的位移之间构成一振膜压力-位移关系曲线图，振膜压力-位移关系曲线图具有以下特征：当振膜承受的压力从零开始增加时，振膜的位移相应增加；当振膜承受的压力增加达到一预设的触发压力值P_tr时，振膜的位移产生幅度为T1的正向跳变；当振膜承受的压力由高至低逐渐减小时，振膜的位移相应减小，当振膜承受的压力减小到一预设的释放压力值P_rs时，振膜的位移产生幅度为T2的负向跳变；其中，P_tr＞P_rs，振膜压力-位移关系曲线图为利用振膜的非线性形变特性实现，通过设计振膜的形状，使振膜在承受的压力增加时，振膜的弹性势能通过形变逐步积累，并在超过一预设位移位置后释放一部分所积累的弹性势能；同时，使振膜在承受的压力由高至低逐渐减小时，振膜的弹性势能通过恢复形变逐步释放，并在减少至一预设位移位置后再积累一部分弹性势能，具有滞回特征的气流传感器还包括背极板、第一隔离层、第二隔离层以及基板，第一隔离层设置在振膜与背极板之间，第二隔离层设置在振膜与基板之间，背极板上设有第一开口，第一开口为气流传感器的压力检测入口，基板上设有第二开口，第二开口为参考压力入口，振膜上设有一偏离背极板方向的凸起部，振膜压力-位移关系曲线图为利用附加在振膜上的弹性体的非线性形变特性实现，弹性体为弹性隔离层或部分弹性体，具有滞回特征的气流传感器还包括背极板、弹性隔离层、第二隔离层以及基板，弹性隔离层具有一主体部和一凸起部，主体部的上方和下方分别与背极板和第二隔离层连接，凸起部朝向基板方向延伸并与振膜连接，第二隔离层设置在主体部与基板之间，背极板上设有第一开口，第一开口为气流传感器的压力检测入口，基板上设有第二开口，第二开口为参考压力入口，振膜内的石墨具备低孔隙率特征，振膜内的石墨的表观密度介于1.5gcm³到2.2gcm³之间。

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