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申请/专利权人：广州粤升半导体设备有限公司
摘要：本实用新型涉及坩埚技术领域，具体公开了一种快速冷却的石墨坩埚，石墨坩埚包括锅体和设于锅体外圈用于固定锅体的石墨碳毡，石墨碳毡内壁盘绕设有走线槽，走线槽内设有与之限位配合用于锅体降温冷却的冷却管，冷却管绕设于锅体外壁，冷却管两端分别设有与之连通的进气管和排气管，通过在走线槽内设有与之限位配合的冷却管，使冷却管绕设于锅体外壁，并且在冷却管的两端分别设有与之连通的进气管和排气管，当锅体需要冷却时，利用进气管向冷却管内输送氮气或氩气等压缩气体，使该压缩气体通过冷却管壁与锅体外壁和石墨碳毡内壁进行热交换，从而将吸收的热量通过排气管排出，进而达到将整个石墨坩埚冷却的效果，因此也从而提高生产效率。
主权项：1.一种快速冷却的石墨坩埚，包括真空腔体1和设于真空腔体1内的石墨坩埚2，其特征在于，所述石墨坩埚2包括锅体201和设于锅体201外圈用于固定锅体201的石墨碳毡202，所述石墨碳毡202内壁盘绕设有走线槽203，所述走线槽203内设有与之限位配合用于锅体201降温冷却的冷却管204，所述冷却管204绕设于锅体201外壁，所述冷却管204两端分别设有与之连通的进气管205和排气管206。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 广州粤升半导体设备有限公司 一种快速冷却的石墨坩埚
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