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申请/专利权人：淮安捷泰新能源科技有限公司
摘要：本实用新型涉及太阳能电池片生产设备技术领域，尤其是涉及一种PECVD炉管碳化硅桨。本实用新型提供一种PECVD炉管碳化硅桨，所述碳化硅桨的一端固定连接有清理耙；所述清理耙位于两个相邻的碳化硅桨之间并与两个所述碳化硅桨的一端固定连接，所述清理耙的底边形状与炉管的底部形状相适配；所述清理耙随着所述碳化硅桨的移动而移动。本实用新型通过直接在碳化硅桨末端加装清理耙，操纵界面中碳化硅桨的前后上下运动，利用碳化硅桨在低位出桨时对炉管底部碎片进行自动清理，避免了碎片堆积对镀膜品质的影响，杜绝了人在机台内部操作带来的安全隐患，实现了清理功能的自动化。
主权项：1.一种PECVD炉管碳化硅桨，其特征在于：所述碳化硅桨的一端固定连接有清理耙；所述清理耙位于两个相邻的所述碳化硅桨之间并与两个所述碳化硅桨的一端固定连接，所述清理耙的底边形状与炉管的底部形状相适配；所述清理耙随着所述碳化硅桨的移动而移动。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 淮安捷泰新能源科技有限公司 一种PECVD炉管碳化硅桨
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