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申请/专利权人：麦斯塔微电子(深圳)有限公司
摘要：本实用新型涉及谐振电子的技术领域，具体涉及一种MEMS谐振器。谐振组件通过谐振子能够产生谐振，通过连接梁能够连接相邻的谐振子，从而使谐振子之间的电信号实现相互传导，保持多个谐振子之间电信号的一致性。锚固件用于锚固谐振组件和衬底，通过锚固件设置的锚点使谐振组件承载于衬底上，保持谐振组件的稳定性。弹性件设于锚固件和连接梁之间，通过弹性件的弹性形变吸收锚固件与衬底连接的应力，当锚固件发生形变时，部分应力被弹性件吸收，从而传递至锚点的应力减小，可有效地降低MEMS谐振器的锚点损耗，提高MEMS谐振器的Q值。
主权项：1.一种MEMS谐振器，其特征在于，包括：谐振组件，包括谐振子和连接梁，所述连接梁连接于相邻的所述谐振子之间；锚固件，连接所述连接梁向所述连接梁呈夹角的方向上延伸设置，所述锚固件包括锚点，通过所述锚点连接衬底；弹性件，设于所述锚固件和所述连接梁之间，通过所述弹性件的弹性形变吸收所述锚固件与所述衬底连接的应力。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 麦斯塔微电子(深圳)有限公司 MEMS谐振器
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