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申请/专利权人：武汉衡惯科技发展有限公司
摘要：本实用新型涉及一种MEMS惯性传感器，包括读出电路层和MEMS表头，所述MEMS表头层叠在所述读出电路层上并且二者之间键合有应力释放环。本实用新型中，一方面，MEMS表头与读出电路层之间的结构应力可以通过应力释放环释放；另一方面，应力释放环将MEMS表头与读出电路层悬空隔离开，可以隔离读出电路层对MEMS表头的热应力；因此，能有效地减小结构应力、热应力等对MEMS表头的影响，显著地提高惯性传感器的性能。上述MEMS惯性传感器为叠封式惯性传感器，可以减小封装管壳的面积，形成小型化、集成化的MEMS惯性传感器，相应地能够减小后端惯性导航系统等应用设备的体积，降低生产成本。
主权项：1.一种MEMS惯性传感器，包括读出电路层和MEMS表头，其特征在于：所述MEMS表头层叠在所述读出电路层上并且二者之间键合有应力释放环。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 武汉衡惯科技发展有限公司 一种MEMS惯性传感器
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