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申请/专利权人：杭州邦齐州科技有限公司
摘要：本实用新型公开了一种用于清洗晶圆的药液循环系统，具体涉及半导体清洗技术领域，包括药液箱、输送泵、进液管道、至少一个清洗机和出液管道，进液管道的一端与药液箱连接并连通，另一端与清洗机的蠕动泵连接并连通，进液管道靠近药液箱的一端距地高度低于进液管道靠近清洗机一端的距地高度，进液管道上设置有输送泵，输送泵用于将药液箱内的药液输送至清洗机，出液管道的一端与清洗机连接并连通，另一端与药液箱连接并连通，出液管道靠近药液箱的一端距地高度低于出液管道靠近清洗机一端的距地高度。本实用新型能够使药液循环使用，减少浪费，提高药液的使用率，减少能耗，节约了废水处理的成本。
主权项：1.一种用于清洗晶圆的药液循环系统，其特征在于：包括药液箱、输送泵、进液管道、至少一个清洗机和出液管道，所述进液管道的一端与所述药液箱连接并连通，另一端与所述清洗机的蠕动泵连接并连通，所述进液管道靠近所述药液箱的一端距地高度低于所述进液管道靠近所述清洗机一端的距地高度，所述进液管道上设置有所述输送泵，所述输送泵用于将所述药液箱内的药液输送至所述清洗机，所述出液管道的一端与所述清洗机连接并连通，另一端与所述药液箱连接并连通，所述出液管道靠近所述药液箱的一端距地高度低于所述出液管道靠近所述清洗机一端的距地高度。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 杭州邦齐州科技有限公司 一种用于清洗晶圆的药液循环系统
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