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一种可控温门阀 

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申请/专利权人:广东利元亨智能装备股份有限公司

摘要:本实用新型涉及一种可控温门阀,包括门阀本体、阀芯组件、驱动器和加热器;所述门阀本体具有可供载板进出的通道,内部设有容腔;所述阀芯组件设置于容腔中,用于启闭所述通道;所述驱动器用于驱动所述阀芯组件动作;所述加热器设置于所述容腔中。本实用新型提供一种可控温门阀,被配置在两个镀膜腔体之间,充当着载体,使载板得以在两个镀膜腔体间无温降或几乎无温降地顺畅流动,确保载板的温度均匀性,提高镀膜品质。

主权项:1.一种可控温门阀,其特征在于,包括门阀本体、阀芯组件、驱动器和加热器;所述门阀本体具有可供载板进出的通道,内部设有容腔;所述阀芯组件设置于容腔中,用于启闭所述通道;所述驱动器用于驱动所述阀芯组件动作;所述加热器设置于所述容腔中。

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