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申请/专利权人：先导薄膜材料(广东)有限公司
摘要：本实用新型属于工装夹具技术领域，公开了一种旋转靶材涂布夹具。包括相对设置的两个固定端环和连接两个固定端环的螺杆，所述固定端环为圆环结构，每个圆环结构上设有供螺杆穿过的通孔，两个圆环结构相对端的内侧设置有环形台阶，相对设置的环形台阶之间形成装夹旋转靶材的容纳空间。本实用新型的旋转靶材涂布夹具结构简单、使用简便，能有效地减少旋转靶材在涂布工序的不良率，减少因靶材不良产生的成本消耗。
主权项：1.一种旋转靶材涂布夹具，其特征在于，包括相对设置的两个固定端环和连接两个固定端环的螺杆，所述固定端环为圆环结构，每个圆环结构上设有供螺杆穿过的通孔，两个圆环结构相对端的内侧设置有环形台阶，相对设置的环形台阶之间形成装夹旋转靶材的容纳空间。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 先导薄膜材料(广东)有限公司 一种旋转靶材涂布夹具
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