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申请/专利权人：杭州大和热磁电子有限公司
摘要：本发明公开了一种冷却加热双功能静电吸盘基座及方法，旨在解决现有的静电吸盘只能进行冷却，而不能兼具加热的功能的不足。该发明包括基座本体，基座本体内设置冷却流道，基座本体上安装若干加热元件。本专利申请的静电吸盘基座具备加热和冷却的双重功能，满足不同的使用要求，防止放置在静电吸盘基座上的半导体材料出现温度的急速变化而出现开裂的情况。
主权项：1.一种冷却加热双功能静电吸盘基座，其特征是，包括基座本体，基座本体内设置冷却流道，基座本体上安装若干加热元件。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 杭州大和热磁电子有限公司 一种冷却加热双功能静电吸盘基座及方法
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