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一种长晶炉专用高密低孔隙石墨坩埚及其制备方法 

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申请/专利权人:青岛华锦新材料科技发展有限公司

摘要:本发明公开了一种长晶炉专用高密低孔隙石墨坩埚及其制备方法,采用石墨烯粉与石墨粉复配超细沥青焦作为骨料;骨料与超细沥青粉低温分散、高温捏合制备糊料破碎成压粉,将压粉经过预成型、等静压成型、炭化、浸渍、石墨化以及机加工,制备出满足长晶炉需求的石墨坩锅。本发明通过纳米级与微米级微观结构调控剂的引入,一方面改善了原材料的界面结合性,优化了产品的微观结构;另一方面结构调控剂作为补强剂,同时强化了石墨坩锅的结构支撑力,也阻止了高温条件下硅蒸汽对石墨坩锅的插层腐蚀,有效提高了石墨坩埚的结构稳定性和使用寿命。此外,本发明的主要原材料为煤化工或石油化工行业的工业半成品,来源广泛、价格低廉,适合大规模批量化生产。

主权项:1.一种长晶炉专用高密低孔隙石墨坩埚的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:S1.将石墨烯粉与石墨粉高速分散、分级混合均匀,其中高速分级混合次数≥3次;S2.将步骤S1得到的混合粉体与超细沥青焦骨料分散、分级混合均匀,其中分级混合次数≥3次;S3.将步骤S2得到的混合粉体与超细沥青粉室温下30-100rmin分散1-5h,然后于真空混捏机中120-190℃下捏合1-3h,得到糊料,将糊料破碎成10-30μm得到压粉;S4.将步骤S3得到的压粉进行坩埚预成型、等静压成型,脱模直接得到坩埚生坯样品;S5.将步骤S4得到的生坯样品先炭化处理,浸渍后再石墨化处理,得到长晶炉专用高密低孔隙石墨坩埚。

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权利要求:

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