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申请/专利权人:长鑫存储技术有限公司
摘要:本公开提供了一种反熔丝单元及制作方法、反熔丝阵列及操作方法,涉及半导体技术领域,反熔丝单元包括:第一连接端,包括第一掺杂区以及设置在第一掺杂区下方的第二掺杂区,第一掺杂区和第二掺杂区的导电类型相反,第一掺杂区和第二掺杂区连接并形成PN结;第二连接端,至少覆盖第二掺杂区;介质层,设置在第二连接端和第二掺杂区之间,第二连接端和第二掺杂区通过介质层隔开。在本公开中,反熔丝单元仅由第一连接端、第二连接端以及介质层构成,无需在反熔丝单元的周边为其配置选择晶体管,减小了反熔丝单元的尺寸,能够进一步减小反熔丝单元的布局面积。
主权项:1.一种反熔丝单元,其特征在于,包括:第一连接端,包括第一掺杂区以及设置在所述第一掺杂区下方的第二掺杂区,所述第一掺杂区和所述第二掺杂区的导电类型相反,所述第一掺杂区和所述第二掺杂区连接并形成PN结;第二连接端,至少覆盖所述第二掺杂区;介质层,设置在所述第二连接端和所述第二掺杂区之间,所述第二连接端和所述第二掺杂区通过所述介质层隔开。
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权利要求:
百度查询: 长鑫存储技术有限公司 反熔丝单元及制作方法、反熔丝阵列及操作方法
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