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申请/专利权人：中国工程物理研究院电子工程研究所
摘要：本申请适用于真空度检测技术领域，提供了一种基于潘宁放电的真空度检测装置及真空度检测方法，装置包括：第一阴极片；第一绝缘环，第一绝缘环具有相对设置的第一绝缘端和第二绝缘端，第一绝缘固定连接于第一阴极片；阳极环，阳极环接正高压，阳极环上开设有通孔，阳极环具有相对设置的第一阳极端和第二阳极端，第一阳极端和第二绝缘端固定连接；第二绝缘环，第二绝缘环具有相对设置的第三绝缘端和第四绝缘端，第三绝缘端和第二阳极端固定连接；第二阴极片，第二阴极片具有相对设置的第一阴极端和第二阴极端，第一阴极端固定连接于第四绝缘端，第二阴极端连接于真空电子器件的内壁；磁钢，磁钢连接于真空电子器件的外壁，且正对于第二阴极端。
主权项：1.一种基于潘宁放电的真空度检测装置，用于检测真空电子器件的真空度，其特征在于，包括：第一阴极片，所述第一阴极片接地；第一绝缘环，所述第一绝缘环具有相对设置的第一绝缘端和第二绝缘端，所述第一绝缘固定连接于所述第一阴极片；阳极环，所述阳极环接正高压，所述阳极环上开设有通孔，所述通孔用于供所述真空电子器件内的气体分子进入所述阳极环的内部，所述阳极环具有相对设置的第一阳极端和第二阳极端，所述第一阳极端和所述第二绝缘端固定连接；第二绝缘环，所述第二绝缘环具有相对设置的第三绝缘端和第四绝缘端，所述第三绝缘端和所述第二阳极端固定连接；第二阴极片，所述第二阴极片接地，所述第二阴极片具有相对设置的第一阴极端和第二阴极端，所述第一阴极端固定连接于所述第四绝缘端，所述第二阴极端连接于所述真空电子器件的内壁；磁钢，所述磁钢连接于所述真空电子器件的外壁，且正对于所述第二阴极端；其中，所述第一阴极片、所述第一绝缘环、所述阳极环、所述第二绝缘环和所述第二阴极片位于所述真空电子器件的内部。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国工程物理研究院电子工程研究所 基于潘宁放电的真空度检测装置及真空度检测方法
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