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申请/专利权人:波音公司
摘要:本申请涉及通用宽带光检测器设计和制造方法。一种宽光谱带宽光检测器,该检测器设计用于在不同的航空电子网络和传感器中使用的所有类型的光纤,以及用于制造这种光检测器的方法。提供了肖特基势垒光检测器,该检测器包括锗,其对在紫外至近红外范围220至1600nm内的光具有宽的光谱响应。提供具有宽光谱响应的光检测器避免了在具有不同光纤网络和传感器的航空电子平台中使用多种不同类型的光检测器和接收器。
主权项:1.一种光检测器,其包括:由掺杂锗制成的衬底;由在所述衬底顶部上生长的掺杂外延锗制成的台面结构,其中所述掺杂外延锗的掺杂密度小于所述掺杂锗的掺杂密度;沉积在所述台面结构的顶部上的由金属制成的金属膜;沉积在所述台面结构的顶部上并且与所述膜接触的由金属制成的金属垫;和沉积在所述衬底底部上的由金属制成的欧姆接触层,其中所述掺杂锗和所述掺杂外延锗掺杂有n-型掺杂剂。
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权利要求:
百度查询: 波音公司 通用宽带光检测器设计和制造方法
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