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一种柔性电子器件的制备装置及其制备方法 

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申请/专利权人:济南职业学院

摘要:本发明公开了一种柔性电子器件的制备装置,包括安装基板、安装在安装基板上的移动平台、受移动平台驱动的注射机构、用于辅助注射机构的喷气机构和用于放置载玻片的Z轴平台;注射机构包括注射桶、注射泵、注射针筒、注射针头和注射泵控制器,注射桶通过安装辅件安装在X轴平台上,注射针筒竖直设置在注射桶的一侧,且该注射针筒与注射泵的出料端连通,注射针筒的出料端与注射针头的进料端连接;喷气机构包括喷气筒和喷气头,喷气筒与注射针筒设置在注射桶的同一侧。本发明结构简单、操作便捷,对实验操作环境的要求较低,其能够随时调节移动平台和注射泵,通过注射泵对注射针筒喷射的离子凝胶的定量控制,以制备出不同结构、尺寸的柔性电子器件。

主权项:1.一种柔性电子器件的制备装置的制备方法,所述柔性电子器件的制备装置,其特征在于:包括安装基板、安装在所述安装基板上的移动平台、受移动平台驱动的注射机构、用于辅助注射机构的喷气机构和用于放置载玻片的Z轴平台;所述移动平台包括安装在所述安装基板上的两个平行设置的Y轴平台和安装在两个Y轴平台之间的X轴平台,所述X轴平台的两端安装在Y轴平台上以使X轴平台在Y轴方向上移动;所述Z轴平台的底部安装在所述安装基板上,且该Z轴平台位于2个Y轴平台之间,用于承接注射机构向Z轴平台注射的离子凝胶,所述Z轴平台的底部设有升降组件以用于调节高度;所述注射机构包括注射桶、注射泵、注射针筒、注射针头和注射泵控制器,所述注射桶通过安装辅件安装在所述X轴平台上以用于所述注射桶沿X轴方向上移动,所述注射泵设置在注射桶内,所述注射针筒竖直设置在所述注射桶的一侧并通过注射泵驱动从注射针筒的出料端排出离子凝胶,离子凝胶通过一管道通入该注射针筒内,所述注射针筒的出料端与注射针头的进料端连接以用于离子凝胶通过注射针头向载玻片注射;所述喷气机构包括喷气筒和喷气头,所述喷气筒竖直安装在所述注射桶上,所述喷气筒与所述注射针筒平行设置,且该喷气筒与注射针筒设置在注射桶的同一侧,所述喷气头的出气端与喷气头的进气端连接以用于在注射离子凝胶时从喷气头喷出冷气,所述喷气筒顶部的进气端通过管路与外部的输气装置连通;所述喷气头的孔径为2μm-1mm;所述的柔性电子器件的制备装置的制备方法,包括以下步骤:1将预先准备好的载玻片放置到Z轴平台上,并调整载玻片在Z轴平台上的位置及Z轴平台的高度;2启动移动平台,带动注射机构在X轴及Y轴方向运动,启动注射泵,并控制注射针筒排出离子凝胶的速度和体积,离子凝胶通过注射针筒向外载玻片注射形成网格状的介电层,喷气筒同时运行,并向介电层喷出冷气,分别控制移动平台和注射泵,对注射形成的每层介电层控制,完成柔性电子器件的制备。

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权利要求:

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