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申请/专利权人：通威微电子有限公司
摘要：本实用新型提供了一种碳化硅晶片腐蚀篮具，涉及晶片腐蚀技术领域，该碳化硅晶片腐蚀篮具包括篮具支架和多个篮具隔板，多个篮具隔板层叠设置在篮具支架的底部，相邻两个篮具隔板之间形成用于装配晶片的夹持空间，每个篮具隔板的顶侧表面设置有多个第一抵持凸点，多个第一抵持凸点用于抵持在晶片的底侧表面。相较于现有技术，本实用新型提供了一种碳化硅晶片腐蚀篮具，采用凸点接触，能够大幅减小与晶片的接触面积，使得晶片腐蚀均匀且稳定性强，并且采用多个篮具隔板，每相邻两个篮具隔板均可以夹持晶片，可以根据需求调整篮具隔板数量，进而调整晶片数量，适用性更好。
主权项：1.一种碳化硅晶片腐蚀篮具100，其特征在于，包括篮具支架110和多个篮具隔板130，多个所述篮具隔板130层叠设置在所述篮具支架110的底部，相邻两个所述篮具隔板130之间形成用于装配晶片的夹持空间，每个所述篮具隔板130的顶侧表面设置有多个第一抵持凸点150，多个所述第一抵持凸点150用于抵持在所述晶片的底侧表面。
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