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申请/专利权人：无锡索奥半导体科技有限公司
摘要：本发明公开了等离子废气处理的射流垂直对冲水幕冷却系统，包括冷却腔体，冷却腔体由布水夹腔和水幕冷却腔构成；布水夹腔包括上布水夹腔和下布水夹腔；下布水夹腔的内腔壁有横向射流孔，下布水夹腔内的水通过各横向射流孔射出形成横向射流水幕；工型布水件与水幕冷却腔限位构成布水顶腔，上布水夹腔与布水顶腔连通，布水顶腔的底部均布竖向射流孔，上布水夹腔内的水通过各竖向射流孔射出形成竖向射流水幕；竖向射流水幕与横向射流水幕在水幕冷却腔内相垂直对冲。本发明通过射流朝向与位置的布置使形成的竖向射流水幕与横向射流水幕在水幕冷却腔内相垂直对冲，从而提高水幕扩散范围，保证水与气体充分接触失效高效冷却。
主权项：1.等离子废气处理的射流垂直对冲水幕冷却系统，包括冷却腔体1，冷却腔体1的顶部中心为内凹进气口10，该冷却腔体1从外到内由与内凹进气口10同轴的布水夹腔2和水幕冷却腔3构成；其特征在于：所述布水夹腔2包括上布水夹腔2.1和下布水夹腔2.2；所述下布水夹腔2.2的内腔壁周向阵列均布有导通水幕冷却腔3的下半部的若干横向射流孔4，下布水夹腔2.2内的水通过各横向射流孔4射出形成由若干横向水射流构成的横向射流水幕100；还包括设置在水幕冷却腔3的内顶部的工型布水件5，所述内凹进气口10伸入工型布水件5的中心腔50内，所述工型布水件5与水幕冷却腔3的内壁限位构成布水顶腔51，所述上布水夹腔2.1对应与布水顶腔51连通，所述布水顶腔51的底部周向阵列均布有导通水幕冷却腔3的若干竖向射流孔6，上布水夹腔2.1内的水通过各竖向射流孔6射出形成由若干竖向水射流构成的竖向射流水幕200；所述竖向射流水幕200与横向射流水幕100在水幕冷却腔3内相垂直对冲。
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