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申请/专利权人：先进能源科学与技术广东省实验室
摘要：本发明公开了一种利用磁控溅射装置制备长线化金属涂层光纤的方法，所述装置包括：放卷腔，包括用于放线的卷对卷往复机构和第一光纤盘；镀膜腔，包括用于传送长线化裸光纤的连续走带系统，用于固定所述长线化裸光纤的冷却辊，用于实现镀膜腔内真空的机械泵和分子泵，用于实现靶原子级联碰撞的磁控溅射装置以及调节连续走带系统的张力传感器；收卷腔，包括用于收线的卷对卷往复机构和第二光纤盘。本发明通过采用不同频率溅射结合磁控阴极的结构，每个溅射阴极上设置有各自的溅射靶材；每个溅射阴极中的溅射靶材可以相同或者不同，从而在裸光纤表面有效地沉积出质量优良的金属涂层，实现数十米乃至上百公里长线化金属涂层光纤的制备。
主权项：1.一种磁控溅射装置，其特征在于，所述装置包括：放卷腔，包括用于放线的卷对卷往复机构和第一光纤盘；镀膜腔，包括用于传送长线化裸光纤的连续走带系统，用于固定所述长线化裸光纤的冷却辊，用于实现镀膜腔内真空的机械泵和分子泵，用于通入氩气的氩气入口和氩气流出的氩气出口；用于实现靶原子级联碰撞的磁控溅射装置以及调节连续走带系统的张力传感器；收卷腔，包括用于收线的卷对卷往复机构和第二光纤盘。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 先进能源科学与技术广东省实验室 一种利用磁控溅射装置制备长线化金属涂层光纤的方法
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