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申请/专利权人：新格拉斯科技集团
摘要：本发明涉及一种用于涂覆装备的涂覆源、一种具有这种涂覆源的涂覆装备以及一种使用这种涂覆源涂覆基板的方法。本发明还涉及一种再填充涂覆源的方法。
主权项：1.一种用于涂覆设施的涂覆源，其中所述涂覆源包括用于蒸发涂覆材料的坩埚和用于蒸发的涂覆材料的至少一个出口开口，其中所述坩埚用对IR辐射半透明的盖封闭，其中所述涂覆源包括用于加热所述坩埚和或所述涂覆材料的在所述封闭的坩埚外部的至少一个第一IR辐射源，其中用于用涂覆材料填充所述坩埚的具有可封闭加料颈的至少一个开口设置在所述盖中，其中所述涂覆源进一步包括至少一个再填充设备，所述至少一个再填充设备连接到所述至少一个加料颈，以便将涂覆材料引入到所述坩埚中，其中所述再填充设备包括用于涂覆材料的储存容器。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 新格拉斯科技集团 具有再填充设备的涂覆源
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