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申请/专利权人：北京东方计量测试研究所
摘要：本发明涉及一种微小气体流量计流导元件入口微量氦气的获得装置，微小气体流量计流导元件入口微量氦气的获得装置包括配置有第一测试室的氦气配气管路和配置有第二测试室的氢气配气管路，氢气配气管路和氦气配气管路并联后通过第七阀门依次连接有第三测试室、第十五阀门、高真空泵、第十六阀门和前级泵，前级泵通过第十三阀门连接至氢气配气管路和氦气配气管路的并联节点；第三测试室通过第十二阀门与吸气剂泵连接、通过第十一阀门与流导元件连接、通过第八阀门与第三真空计连接、通过第九阀门与第四真空计连接、通过第十阀门与第四测试室连接；第三测试室还通过第十四阀门与前级泵连接。本发明，能够获取极微小的氦气气体流量Qs。
主权项：1.一种微小气体流量计流导元件入口微量氦气的获得装置，其特征在于，包括配置有第一测试室VC1的氦气配气管路和配置有第二测试室VC2的氢气配气管路，所述氢气配气管路和所述氦气配气管路并联后通过第七阀门V7依次连接有第三测试室VC3、第十五阀门V15、高真空泵TMP、第十六阀门V16和前级泵RP，所述前级泵RP通过第十三阀门V13连接至所述氢气配气管路和所述氦气配气管路的并联节点；所述第三测试室VC3通过第十二阀门V12与吸气剂泵NEG连接、通过第十一阀门V11与流导元件f连接、通过第八阀门V8与第三真空计G3连接、通过第九阀门V9与第四真空计G4连接、通过第十阀门V10与第四测试室VC4连接；所述第三测试室VC3还通过第十四阀门V14与所述前级泵RP连接；所述氦气配气管路包括第一阀门V1、第三阀门V3、所述第一测试室VC1和第一真空计G1，所述第一真空计G1通过第二阀门V2与所述第一阀门V1连接；所述氢气配气管路包括第四阀门V4、第六阀门V6、所述第二测试室VC2和第二真空计G2，所述第二真空计G2通过第五阀门V5与所述第四阀门V4连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京东方计量测试研究所 微小气体流量计流导元件入口微量氦气的获得装置
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