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申请/专利权人：荷兰应用自然科学研究组织TNO
摘要：使用带有压电可模制层10的基材20制造压电装置100。压印件30包括由相互连接的侧壁32的网格形成的单元格30u的重复型式，侧壁32将相应孔隙31分隔开。模制加工包括将压印件30推动F到可模制层10中。这导致压电材料M被推动到相应孔隙31中，并形成支柱11的阵列。在压印件中，由相应孔隙31形成的敞开面积A31的部分多于由周围侧壁32形成的实心面积A32的部分。在所生成的支柱结构中，由支柱11形成的活性面积A11的部分多于支柱11之间的非活性面积A12的部分。压印件30可以适于在使用相对较薄的侧壁32的同时改进结构整体性。
主权项：1.一种制造压电装置100的方法，所述方法包括：提供带有可模制层10的基材20,所述可模制层包括压电材料M；提供压印件30，所述压印件30包括由相互连接的侧壁32的网格形成的单元格30u的重复型式，所述侧壁32将其间的相应孔隙31分隔开，其中，在每个相应单元格30u中，所述侧壁32封围相应单元格30u的相应孔隙31；执行模制加工，所述模制加工包括将所述压印件30推动F到所述可模制层10中，或者反之亦然，以导致所述可模制层10至少部分地被所述相互连接的侧壁32的网格切削，并且导致所述压电材料M被推动到相应孔隙31中，以形成包括所述压电材料M的支柱11的阵列，其中，每个支柱11根据相应孔隙31形成；其中，在所述压印件30的每个相应单元格30u中，敞开面积A31的部分由相应孔隙31形成，实心面积A32的互补部分由周围的侧壁32所占据，其中，所述压印件的每个单元格30u的所述敞开面积A31的部分多于所述实心面积A32的部分。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 荷兰应用自然科学研究组织TNO 模制压电支柱装置的方法
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