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申请/专利权人：宁波大学
摘要：本发明公开了一种多周期Bi2Te3基热电薄膜材料及其制备方法，特点是该薄膜材料由Bi2Te3薄膜层与Al、Cr或ZnO薄膜层交替沉积复合而成，Bi2Te3层与Al、Cr或ZnO层厚度比为3：1且厚度和为40nm，在磁控溅射镀膜系统中分别固定Bi2Te3靶和Al、Cr或ZnO靶，其中Bi2Te3溅射功率为30W和溅射时间为110s，Al、Cr或ZnO的溅射功率分别为50W、60W、50W，相应的溅射时间为300s、80s、50s，在室温下双靶交替溅射镀膜，循环10个周期后即得到沉积态的多周期Bi2Te3热电薄膜材料，优点是制备的多周期热电薄膜质量好、成分可控且均匀、性能高。
主权项：1.一种多周期Bi2Te3基薄膜材料，其特征在于：该薄膜材料由Bi2Te3薄膜层与Al、Cr或ZnO薄膜层在纳米尺度下交替沉积复合而成，所述的Bi2Te3薄膜层与所述的Al、Cr、或ZnO薄膜层交替循环周期为10次。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 宁波大学 一种多周期Bi2Te3基热电薄膜材料及其制备方法
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