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申请/专利权人:中国科学院宁波材料技术与工程研究所
摘要:本发明提供了一种周期性多层膜在制备扫描电子显微镜检测能力验证样品中的应用;所述周期性多层膜中包括Ti层、TiN层和CrN层。本发明采用包括Ti层、TiN层和CrN层的周期性多层膜,其结构简单,易于不同专业的电镜使用人员理解,弥补了现有扫描电镜检测能力验证样品对测试人员专业知识有专业背景限制的不足,更具有普适性。在扫描电镜下,Ti和TiN原子序数衬度差异较小,TiN和CrN原子序数衬度差别较大,要完全辨别形貌衬度差异辨别需要一定的扫描电镜测试分析能力基础,可以验证实验室的检测能力。
主权项:1.一种周期性多层膜在制备扫描电子显微镜检测能力验证样品中的应用;所述周期性多层膜中包括Ti层、TiN层和CrN层。
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百度查询: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 一种周期性多层膜在制备扫描电子显微镜检测能力验证样品中的应用
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