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申请/专利权人：无锡富创得精密设备有限公司
摘要：本申请提供了一种晶圆冷却装置，属于晶圆加工技术领域。包括：冷却系统和用于将晶圆放置于冷却系统的晶圆托爪；冷却系统包括放置晶圆的冷却座和用于冷却晶圆的冷却组件；晶圆托爪包括托举晶圆边缘的片托和设置于片托上方的密封盖板；晶圆托爪设置于冷却座的上方；且晶圆托爪上连接有驱动晶圆托爪升降的驱动装置；驱动装置驱动晶圆托爪下降，并使密封盖板与冷却座配合形成封闭的冷却仓，且片托和晶圆位于冷却仓中；冷却组件包括连通冷却仓的气体管路。能够形成封闭的冷却仓对晶圆进行气冷，对于晶圆的托举位置在晶圆的边缘，对晶圆的损伤小。
主权项：1.一种晶圆冷却装置，其特征在于，包括：冷却系统和用于将晶圆放置于所述冷却系统的晶圆托爪；所述冷却系统包括放置晶圆的冷却座和用于冷却晶圆的冷却组件；所述晶圆托爪包括托举所述晶圆边缘的片托和设置于所述片托上方的密封盖板；所述晶圆托爪设置于所述冷却座的上方；且所述晶圆托爪上连接有驱动所述晶圆托爪升降的驱动装置；所述驱动装置驱动所述晶圆托爪下降，并使所述密封盖板与所述冷却座配合形成封闭的冷却仓，且所述片托和所述晶圆位于所述冷却仓中；所述冷却组件包括连通所述冷却仓的气体管路。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 无锡富创得精密设备有限公司 一种晶圆冷却装置
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