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申请/专利权人：应用材料公司
摘要：本揭露案的实施方式大体涉及复合PVD靶材。该靶材具有直径；连接面；相对于连接面的基板面；厚度，介于连接面及基板面之间；及材料分布。该材料分布包括布置在图案中的含硅材料，及布置在图案中的含钛材料。该材料分布在沿着厚度的任何点处为均匀的。
主权项：1.一种复合PVD靶材，包含：直径；连接面；基板面，设置成与所述连接面相对；厚度，介于所述连接面与所述基板面之间；及材料分布，包含：含硅材料，布置在图案中；及含钛材料，布置在所述图案中，其中所述材料分布在沿着所述厚度的任何点处为均匀的。
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