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申请/专利权人：吉林大学
摘要：一种基于光敏型生色团的易擦写式可变光衰减器，属于功能性光子芯片技术领域。可变光衰减器由衬底层、下包层、芯层和芯层两侧的包层组成，空气作为芯层的上包层；沿光传输方向，芯层由输入端直波导、干涉平板波导和输出端直波导三部分组成；包层和芯层为同一种材料，包层经紫外光曝光后得到，其折射率小于芯层的折射率；干涉平板波导的宽度大于输入端直波导和输出端直波导的宽度。本发明通过激励光功率变化对波导芯层产生光热效应，以实现对信号光输出功率的调谐功能；通过对制备的芯片进行退火处理，可以擦除已有波导结构，并可通过重新紫外写入形成新的波导器件，从而解决了现有可变光衰减器调控速率慢、制备流程繁琐的不足。
主权项：1.一种基于光敏型生色团的易擦写式可变光衰减器，为单输入单输出的多模干涉器件，其特征在于：从下至上由衬底层1、下包层2、芯层3和芯层3两侧的包层5组成，空气作为芯层3的上包层；沿光传输方向，芯层3由输入端直波导3-1、干涉平板波导3-2和输出端直波导3-3三部分组成；包层5和芯层3为同一种材料，包层5经紫外光曝光后得到，其折射率小于芯层3的折射率；输入端直波导3-1和输出端直波导3-3的结构相同，干涉平板波导3-2的宽度大于输入端直波导3-1和输出端直波导3-3的宽度；其中，芯层3材料和包层5材料是将功能性化光敏型生色团掺杂在聚合物材料中得到，所述的聚合物材料为SU-8、PMMA、PMMA-GMA中的任意一种，功能性化光敏型生色团的质量为芯层3或包层5材料总质量的5～20％；功能性化光敏型生色团的结构式如下所示， 芯层3是使用与芯层3形状相同的掩模版4进行紫外曝光，曝光后的区域形成包层5，未曝光后的区域形成芯层3，从而得到可变光衰减器；再将该器件以90～120℃的温度加热10～20分钟，包层5的折射率会随加热时间的增加而逐渐恢复至芯层3的折射率；然后使用与芯层3形状相同的掩膜版4进行紫外曝光，可再次制备得到可变光衰减器，从而实现“易擦写”功能，擦写次数为15～20次。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 吉林大学 一种基于光敏型生色团的易擦写式可变光衰减器
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