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申请/专利权人：大日本印刷株式会社
摘要：本发明提供金属板以及蒸镀掩模的制造方法，其能够在第1面上稳定地设置宽度窄的抗蚀剂图案。金属板的制造方法具备准备由包含镍的铁合金构成的板材的准备工序。利用X射线光电子分光法实施了由板材得到的金属板的第1面的组成分析，在将作为结果得到的镍氧化物的峰面积值与镍氢氧化物的峰面积值之和设为A1、将铁氧化物的峰面积值与铁氢氧化物的峰面积值之和设为A2的情况下，A1A2为0.4以下。
主权项：1.一种蒸镀掩模的制造方法，所述蒸镀掩模的制造方法包括：供给延伸成带状的贴附有干膜的长金属板的工序；将利用了照相平版印刷技术的蚀刻实施于贴附有干膜的长金属板，在贴附有干膜的长金属板上从第1面侧形成第1凹部的工序；和将利用了照相平版印刷技术的蚀刻实施于贴附有干膜的长金属板，在贴附有干膜的长金属板上从第2面侧形成第2凹部的工序，除去由所述干膜形成的抗蚀剂图案，形成于除去所述抗蚀剂图案的长金属板的第1凹部和第2凹部相互相通，从而在除去所述抗蚀剂图案的长金属板上制作出贯通孔，第2凹部的形成工序在第1凹部的形成工序之前实施，并且，在第2凹部的形成工序与第1凹部的形成工序之间进一步设置有对所制作的第2凹部进行密封的工序，利用X射线光电子分光法实施了所述长金属板的所述第1面的组成分析，在将作为结果得到的镍氧化物的峰面积值与镍氢氧化物的峰面积值之和设为A1、将铁氧化物的峰面积值与铁氢氧化物的峰面积值之和设为A2的情况下，A1A2为0.4以下，在使用了X射线光电子分光法的所述长金属板的所述第1面的组成分析中，向所述长金属板照射的X射线相对于所述第1面的入射角为45度，由所述长金属板放出的光电子的接收角为90度。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 大日本印刷株式会社 金属板以及蒸镀掩模的制造方法
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