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申请/专利权人：青岛育豪微电子设备有限公司

摘要：本发明属于降温设备技术领域，具体为一种加热体外部降温结构，包括炉体和降温装置，降温装置气液降温机构、预热机构和出水机构，通过设置气液降温机构，利用气液相结合的方式对炉体外部进行降温，提高降温效果，避免设备工作时对工作人员造成不适，同时通过设置一次预热组件，利用炉体外部热量对氧气一次预热，通过设置二次预热组件，对氧气二次预热，提高晶圆氧化时进入炉体内部的氧气温度，减小氧气与炉内温差，有效利用热能的同时提高了晶圆氧化层的均匀性，并通过设置出水机构，便于排水，并通过刮水组件，便于清理积水。

主权项：1.一种加热体外部降温结构，包括炉体（1），其特征在于：所述炉体（1）外部套设有保温体（2），所述保温体（2）外部设置有降温装置（3），所述降温装置（3）包括水箱（31）、一号进水管（32）、气液降温机构（33）、预热机构（34）和传动机构（35），所述一号进水管（32）一端与水箱（31）连接，另一端与气液降温机构（33）连接，所述预热机构（34）包括一次预热组件（341）和二次预热组件（342）；所述气液降温机构（33）包括套设在保温材料层外部的一号降温筒（331），所述一号降温筒（331）包括降温环（3311）和固定连接在降温环（3311）一端的密封板（3312），所述一号进水管（32）远离水箱（31）一端与密封板（3312）转动连接，所述密封板（3312）上开设有一号引流孔（332），所述一号引流孔（332）贯穿密封板（3312）并延伸至降温环（3311）上，所述一号降温筒（331）外表面上设置有二号进水管（333），所述二号进水管（333）呈螺旋状固定安装在一号降温筒（331）上，所述一号引流孔（332）和二号进水管（333）的进水端连通，所述一号降温筒（331）的外部转动连接有二号降温筒（334），所述二号降温筒（334）上安装有进气管（335），所述一号降温筒（331）和二号降温筒（334）之间设置有气腔（336），所述进气管（335）与气腔（336）连通，所述二号进水管（333）位于气腔（336）内，所述降温环（3311）远离密封板（3312）一端上开设有二号引流孔（337），所述二号引流孔（337）贯穿一号降温筒（331）的端面，所述二号进水管（333）的出水端与二号引流孔（337）连通；所述一次预热组件（341）包括设置在一号降温筒（331）和二号降温筒（334）之间的一号隔板（3411），所述一号隔板（3411）位于二号进水管（333）远离密封板（3312）的一侧，所述一号隔板（3411）的外侧面与二号降温筒（334）固定连接，所述一号隔板（3411）的内侧面与一号降温筒（331）转动连接，所述一号降温筒（331）远离密封板（3312）的一侧设置有二号隔板（3412），所述二号隔板（3412）的内侧面与一号降温筒（331）转动连接，所述二号隔板（3412）的外侧面与二号降温筒（334）固定连接，所述一号隔板（3411）上开设有一号进气孔（3413），所述二号隔板（3412）上开设有二号进气孔（3414），所述二号进气孔（3414）孔径小于一号进气孔（3413）孔径；所述二次预热组件（342）包括开设在所述降温环（3311）上的三号进气孔（3421），所述三号进气孔（3421）位于二号隔板（3412）远离一号隔板（3411）的一侧，所述一号降温筒（331）与保温体（2）之间设置有膨胀腔（3422），所述膨胀腔（3422）内设置有活塞板（3423），所述活塞板（3423）套设在保温体（2）上且与保温体（2）滑动连接，所述活塞板（3423）的外侧面与一号降温筒（331）内侧面滑动连接。

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