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申请/专利权人：苏州优晶半导体科技股份有限公司
摘要：本发明的实施例提供了一种多坩埚生长设备及使用方法，涉及晶体生长技术领域。该多坩埚生长设备包括至少两个坩埚、隔热托板以及旋转装置，隔热托板上设有至少两个安装孔，安装孔的数量和坩埚的数量一一对应，每个安装孔内均安装有坩埚，旋转装置和隔热托板连接，用于带动隔热托板旋转，从而同时带动至少两个坩埚旋转。相比于现有技术中坩埚吊装的连接方式而言，将坩埚安装在隔热托板上能够避免出现坩埚掉落的现象，而且现有技术中坩埚底部支撑的连接方式会导致坩埚底部始终有一个位置的受热不佳，从而影响晶体生长稳定性，将坩埚安装在隔热托板上使得坩埚的底部能够均匀受热，有利于坩埚的温度控制，确保晶体生长稳定性。
主权项：1.一种多坩埚生长设备，其特征在于，包括：至少两个坩埚（10）；隔热托板（20），所述隔热托板（20）上设有至少两个安装孔，所述安装孔的数量和所述坩埚（10）的数量一一对应，每个所述安装孔内均安装有所述坩埚（10）；旋转装置（30），所述旋转装置（30）和所述隔热托板（20）连接，用于带动所述隔热托板（20）旋转，从而同时带动至少两个所述坩埚（10）旋转；所述坩埚（10）的外部设有吊耳（40），所述吊耳（40）沿所述坩埚（10）的圆周方向设置，所述吊耳（40）和所述隔热托板（20）的表面抵接，使得所述坩埚（10）安装于所述安装孔内，并承托在所述隔热托板（20）上。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州优晶半导体科技股份有限公司 一种多坩埚生长设备及使用方法
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