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申请/专利权人：北京理工大学
摘要：本发明涉及一种基于金属螺线悬臂阵列结构及热辐射光谱调控方法，属于红外光学、热辐射光谱调控技术领域。本发明超表面提出了复合螺旋线金属结构设计，通过加电压使结构发生形变，可以对结构的红外热辐射光谱强度和光谱峰值波长实现调控。本发明对于金属超表面的调控方式是通过直接加电压实现的，相对其他通过控制温度、热相变等实现调控的方法,操作系统简单且不涉及复杂的不可控化学反应。本发明所提出的基于金属螺线悬臂阵列结构的热辐射光谱调控方法，相较于现有技术，突破了只能调节热辐射光谱强度或者只能小范围调节热辐射光谱峰值波长的问题；同时，本发明对于多种材料的兼容性能解决其他方法过度依赖材料本身特性的问题。
主权项：1.一种基于金属螺线悬臂阵列结构，其特征在于该金属螺线悬臂阵列结构的制备方法为：步骤一：在衬底上沉积铬层，在铬层上沉积金属层；衬底包括两层，上层为二氧化硅，下层为硅；步骤二：在步骤一得到的样品上刻蚀复合螺旋线结构图案阵列，刻蚀深度至硅基底，每个复合螺旋线结构图案的内部为风车型螺线，外部为阿基米德螺线；步骤三：将金属层图案下部的二氧化硅腐蚀，得到基于金属螺线悬臂阵列结构。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京理工大学 一种基于金属螺线悬臂阵列结构及热辐射调控方法
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