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申请/专利权人：中国科学技术大学
摘要：本发明带隔离腔的低温真空插杆，包括隔离腔组件、插杆组件；所述隔离腔组件包括密封组件、回温组件、抽口法兰、真空阀门，所述密封组件与所述回温组件密封连接，所述回温组件密封连接所述真空阀门，所述抽口法兰连接所述回温组件；所述插杆组件包括顶端密封塞、馈线管、底端密封塞；所述顶端密封塞与所述底端密封塞分别连接馈线管的两端；所述插杆组件位于所述隔离腔组件内，所述插杆组件沿隔离腔组件竖直方向移动至上工位和下工位，在上工位和下工位时，所述顶端密封塞与所述底端密封塞分别与所述密封组件形成密封结构。本发明还公开核心部件回温方法本发明的有益效果：无需配备加热控温回路，简化设备，节约成本，且回温快。
主权项：1.一种带隔离腔的低温真空插杆，其特征在于，包括隔离腔组件、插杆组件；所述隔离腔组件包括密封组件、回温组件、抽口法兰、真空阀门，所述密封组件与所述回温组件密封连接，所述回温组件密封连接所述真空阀门，所述抽口法兰连接所述回温组件；所述插杆组件包括顶端密封塞、馈线管、底端密封塞；所述顶端密封塞与所述底端密封塞分别连接馈线管的两端；所述插杆组件位于所述隔离腔组件内，所述插杆组件沿隔离腔组件竖直方向移动至上工位和下工位，在上工位和下工位时，所述顶端密封塞与所述底端密封塞分别与所述密封组件形成密封结构。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学技术大学 一种带隔离腔的低温真空插杆及核心部件回温方法
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