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申请/专利权人：天津大学
摘要：本申请公开一种纵向电场激励单晶压电谐振器及其制造方法、电气产品，涉及谐振器技术领域。该谐振器包括沿第一方向依次设置的第一电极、单晶压电薄膜、第二电极、键合层、第一金属层和衬底；第二电极、键合层以及第一金属层组成一空腔；所述衬底具有至少一个通孔，所述通孔中具有第二金属层，所述第二金属层与所述第一金属层有电学连接。本申请将信号引出结构设置于器件核心工作部的下方，有效缩减器件在水平方向占据的空间，减小器件尺寸，增加单位晶圆面积上的器件数量，降低成本。另外通过键合工艺形成空腔，消除了牺牲层释放工艺中刻蚀剂破坏器件结构的隐患，提高工艺可靠性和良品率。
主权项：1.一种纵向电场激励单晶压电谐振器，其特征在于，包括沿第一方向依次设置的第一电极、单晶压电薄膜、第二电极、键合层、第一金属层和衬底；所述第二电极、所述键合层以及所述第一金属层组成一空腔；所述衬底具有至少一个通孔，所述通孔中具有第二金属层，所述第二金属层与所述第一金属层有电学连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 天津大学 纵向电场激励单晶压电谐振器及其制造方法、电气产品
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