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接合装置、接合系统以及接合方法 

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申请/专利权人:东京毅力科创株式会社

摘要:本发明提供一种接合装置、接合系统以及接合方法,能够抑制在基板彼此接合时产生的接合不良。本公开的一个方式的接合装置具备第一保持部、第二保持部、撞击件以及离子发生器。第一保持部从第一基板的上方吸附保持所述第一基板。第二保持部配置在比所述第一保持部靠下方的位置,从第二基板的下方吸附保持所述第二基板。撞击件按压所述第一基板的中心部来使该第一基板的中心部与所述第二基板接触。离子发生器配置在比所述第二保持部靠上方的位置。

主权项:1.一种接合装置,具备:第一保持部,其从第一基板的上方吸附保持所述第一基板;第二保持部,其配置在比所述第一保持部靠下方的位置,从第二基板的下方吸附保持所述第二基板;撞击件,其按压所述第一基板的中心部来使该第一基板的中心部与所述第二基板接触;以及离子发生器,其配置在比所述第二保持部靠上方的位置。

全文数据:

权利要求:

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