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一种用于真空分子泵的动平衡调整设备及方法 

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申请/专利权人:山东世纪安泰真空设备有限公司

摘要:本发明提供一种用于真空分子泵的动平衡调整设备及方法,涉及动平衡检测技术领域,所述用于真空分子泵的动平衡调整设备,包括:安装支架,所述安装支架的顶部固设有限位滑轨;两个平衡检测机构,所述平衡检测机构包括安装盒、压力检测件、连接轴承、对接管、速度传感器、比对盘和摄像头,所述安装盒的底部插入所述限位滑轨内且滑动连接;一种动平衡调整方法,采用所述的用于真空分子泵的动平衡调整设备对真空分子泵的转子杆进行动平衡的检测。该方案最终实现集成振动压力值及角度值,生成振动及角度分析表,以判断最大振幅时所对应的角度值,从而方便找到所需增重的点位,减少增重点位调试及测试所需的时间,提高所述转子杆检修维护的效率。

主权项:1.一种用于真空分子泵的动平衡调整设备,其特征在于,包括:安装支架,所述安装支架的顶部固设有限位滑轨;两个平衡检测机构,所述平衡检测机构包括安装盒、压力检测件、连接轴承、对接管、速度传感器、比对盘和摄像头,所述安装盒的底部插入所述限位滑轨内且滑动连接,所述安装盒上开设有观察孔,所述压力检测件的底部固设在所述安装盒的顶部,所述压力检测件的顶部通过所述连接轴承与所述对接管转动连接,所述对接管的一端与所述比对盘固定连接,所述比对盘上设置有刻度表,所述速度传感器固设在所述安装盒的顶部,所述摄像头固设在所述安装盒内,所述摄像头的拍摄端通过所述观察孔朝向所述比对盘上的刻度表;移动机构,所述移动机构安装在所述安装支架上,所述移动机构用于驱动动力装置在所述安装支架上移动调节;传动件,所述传动件用于驱动所述安装盒沿所述限位滑轨伸缩调节;其中,一转子杆的轴端插入所述对接管且与所述对接管抵接;所述传动件、所述平衡检测机构和所述限位滑轨三者之间成一一对应设置;当所述动力装置处于对接工位时,所述动力装置的驱动部分与所述转子杆表面稳定的接触,所述动力装置用于驱动所述转子杆旋转;所述转子杆的轴端插入所述对接管内,使得所述转子杆通过所述对接管同步带动所述比对盘旋转;所述安装支架上固设有移动滑轨;所述移动机构包括电机、第一齿轮、第一齿板和支撑滑板,所述电机固设在所述安装支架的顶部,所述第一齿轮固设在所述电机的轴端,所述第一齿板的底部与所述第一齿轮的顶部啮合,所述第一齿板的顶部与所述支撑滑板的底部固定连接,所述支撑滑板的底部插入所述移动滑轨且滑动连接;其中,所述动力装置的底部固定安装在所述支撑滑板的顶部;所述用于真空分子泵的动平衡调整设备还包括输送机构,所述输送机构安装在所述安装支架的顶部,所述输送机构用于支撑所述转子杆;所述输送机构包括固定架、支撑轴、安装夹具和旋转装置,所述固定架的底部固设在所述安装支架的顶部,所述支撑轴转动安装在所述固定架上,所述安装夹具固定安装在所述支撑轴上,所述旋转装置安装在所述固定架上,所述旋转装置用于驱动所述支撑轴旋转调节;所述安装夹具包括固定杆、固定夹板、限位罩、活动夹板、伸缩件和连接件,所述固定杆的两端分别与所述支撑轴和所述固定夹板固定连接,所述限位罩固设在所述固定夹板上,所述伸缩件的固定端固设在所述固定杆上,所述伸缩件的伸缩端通过所述连接件与所述活动夹板固定连接,所述连接件穿过所述限位罩且滑动连接;其中,所述固定夹板与所述活动夹板内分别镶嵌有旋转轴,所述旋转轴与所述转子杆的轴端抵接;所述固定夹板和所述活动夹板抱夹在所述转子杆的轴端。

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权利要求:

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