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申请/专利权人：南京三乐集团有限公司

摘要：本发明涉及一种太赫兹行波管高精度对准工装及对准装配方法，属于电子设备领域。电子枪工装、慢波结构工装均包括调平工装，多轴精密位移平台，底座，组合成直角形状的两个等高块，基座；底座的同一水平面上布置多轴精密位移平台及组合成直角形状的两个等高块；位于多轴精密位移平台的上端部设有调平工装；所述调平工装内布置电子枪或慢波结构；电子枪工装与慢波结构工装中电子枪与慢波结构相对布置且置于基座上。本发明利用激光测量仪和两个等高块补偿电子枪非接触测量不同高度的误差，通过激光测量仪和工装模具，使电子枪和慢波系统的对中精度达到微米量级，进而提高行波管工作可靠性和稳定性。

主权项：1.一种太赫兹行波管高精度对准工装的装配方法，其特征在于：对准工装包括电子枪工装及慢波结构工装；所述电子枪工装、慢波结构工装均包括调平工装，多轴精密位移平台，底座，组合成直角形状的两个等高块，基座；所述底座的同一水平面上布置多轴精密位移平台及组合成直角形状的两个等高块；位于多轴精密位移平台的上端部设有调平工装；所述调平工装内布置电子枪或慢波结构；所述电子枪工装与慢波结构工装中电子枪与慢波结构相对布置且置于基座上；对准装配步骤如下：步骤一、准备用于安装电子枪工装、慢波结构的底座；分别在底座上安装固定两个等高块及多轴精密位移平台；步骤二、分别在多轴精密位移平台上安装调平工装，调平工装内安装电子枪及慢波结构；步骤三、通过调平工装将电子枪的阴极上表面调水平，水平面精度控制在2微米内；步骤四、电子枪工装中以相互垂直的两个等高块作为X、Y轴坐标系；采用激光测量仪校准电子枪的阴极在该X、Y轴坐标系中的位置；步骤五、通过调平工装将慢波结构电子注通道垂直定位面调水平，将电子注通道孔的两个垂直侧面分别平行于定两个等高块的垂面；步骤六、慢波结构工装中以相互垂直的两个等高块作为X、Y轴坐标系，采用激光测量仪校准慢波结构中电子柱通道的孔在该X、Y轴坐标系中的位置；步骤七、将步骤四及步骤六中电子枪的阴极及慢波结构的电子注通道的中心坐标保持一致；步骤八、将步骤八中电子枪及慢波结构翻转90°，且布置在基座上；在基座上滑动贴合实现太赫兹行波管带状电子注电子枪中阴极与慢波对准的装配。

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