龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：霓达杜邦股份有限公司
摘要：本发明提供一种可进一步降低研磨后的半导体晶片的微小缺陷及雾度的研磨用组合物。研磨用组合物包含磨粒、碱性化合物、和具有下述通式1所表示的1，2‑二醇结构单元的乙烯醇系树脂，乙烯醇系树脂中，下述通式2所表示的结构单元的摩尔浓度在全部结构单元中为2摩尔％以上。其中，R1、R2及R3分别独立地表示氢原子或有机基团，X表示单键或键合链，R4、R5及R6分别独立地表示氢原子或有机基团。
主权项：1.一种研磨用组合物，其包含：磨粒，碱性化合物，和具有下述通式1所表示的1,2-二醇结构单元、下述通式2所表示的结构单元、和下述通式3所表示的结构单元的乙烯醇系树脂，所述乙烯醇系树脂中，下述通式2所表示的结构单元的摩尔浓度在全部结构单元中为2摩尔％以上， 其中，R1、R2及R3分别独立地表示氢原子或有机基团，X表示单键或键合链，R4、R5及R6分别独立地表示氢原子或有机基团。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 霓达杜邦股份有限公司 研磨用组合物
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号