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申请/专利权人：阿特利耶博世股份有限公司
摘要：本发明涉及一种冗余真空泵送系统300和利用此系统的泵送方法，包括初级罗茨泵302、第一泵送子系统310和第二泵送子系统320，其中该第一泵送子系统310和第二泵送子系统320被布置为并联泵送由初级罗茨泵302排空的气体。该第一泵送子系统310包括第一次级罗茨泵311和第一正排量泵312以及定位于该初级罗茨泵302的气体排放出口302b和该第一次级罗茨泵311的气体抽吸入口311a之间的第一阀门313，并且该第二泵送子系统320包括第二次级罗茨泵311和第二正排量泵312以及定位于该初级罗茨泵302的气体排放出口302b和该第二次级罗茨泵321的气体抽吸入口321a之间的第二阀门323。根据本发明，该第一泵送子系统310和第二泵送子系统320被配置为以相同的流速泵送，而该初级罗茨泵302被配置为能够以等于初级泵送子系统310的泵送流速加上次级泵送子系统320的泵送流速的流速F泵送。
主权项：1.冗余真空泵送系统300，包括初级罗茨泵302，所述初级罗茨泵302具有能够连接至工艺室301的气体抽吸入口302a和连接至第一泵送子系统310和第二泵送子系统320的气体排放出口302b，其中，所述第一泵送子系统310和第二泵送子系统320被布置为并联泵送由初级罗茨泵302排空的气体，所述第一泵送子系统310包括第一次级罗茨泵311、第一正排量泵312和定位于初级罗茨泵302的气体排放出口302b和第一次级罗茨泵311的气体抽吸入口311a之间的第一阀门313，并且所述第二泵送子系统320包括第二次级罗茨泵321、第二正排量泵322和定位于初级罗茨泵302的气体排放出口302b和第二次级罗茨泵321的气体抽吸入口之间的第二阀门323，其特征在于，所述第一泵送子系统310和所述第二泵送子系统320被配置为以相同的流速泵送；所述初级罗茨泵302被配置为能够以等于第一泵送子系统310的泵送流速加上第二泵送子系统320的泵送流速的流速F泵送，以及当第一泵送子系统和第二泵送子系统运行时，初级罗茨泵的气体抽吸入口302a和气体排放出口302b之间的压缩比等于1。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 阿特利耶博世股份有限公司 冗余泵送系统和利用此泵送系统的泵送方法
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