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半导体器件以及制造半导体器件的方法专利

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申请/专利权人:住友电气工业株式会社

申请日:2019-09-26

公开(公告)日:2024-09-10

公开(公告)号:CN110970411B

专利技术分类:.包含在H01L27/00至H01L33/00,或H10K,H10N等各组中两个或多个不同大组内的类型的器件,例如构成混合电路的[2023.01]

专利摘要:本发明涉及一种半导体器件以及制造半导体器件的方法,该半导体器件包括:半导体层,其形成在基板上;第一树脂层,其形成在半导体层上;第二树脂层,其形成在第一树脂层上;第一布线层,其形成在半导体层上,并且被掩埋在第二树脂层中;第二布线层,其形成在第二树脂层和第一布线层上,并且与第一布线层电连接;以及第一无机绝缘膜,其覆盖第二树脂层和第二布线层,其中,第一布线层的面积大于第二布线层的面积。

专利权项:1.一种半导体器件,包括:半导体层,其形成在基板上;第一树脂层,其形成在所述半导体层上;第二树脂层,其形成在所述第一树脂层上;第一布线层,其形成在所述半导体层上,并且被掩埋在所述第二树脂层中;第二布线层,其形成在所述第二树脂层和所述第一布线层上,并且与所述第一布线层电连接;以及第一无机绝缘膜,其覆盖所述第二树脂层和所述第二布线层,其中,所述第一布线层和所述第二布线层形成焊盘,并且在所述焊盘中,所述第一布线层的面积大于所述第二布线层的面积。

百度查询: 住友电气工业株式会社 半导体器件以及制造半导体器件的方法

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