龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：NANO科技(北京)有限公司
摘要：本发明提供一种将薄膜铌酸锂调制器集成到硅光集成芯片的工艺，所述硅基薄膜铌酸锂调制器包括：硅光波导、薄膜铌酸锂波导和垂直绝热耦合器。其中所述工艺包括以下步骤：以单片集成的方式将锗硅结构探测器集成在硅光集成芯片中；由SOI晶圆的顶层硅刻蚀形成所述硅光波导；将薄膜铌酸锂波导贴合在硅光集成芯片上对应于硅光波导的位置处；通过垂直绝热耦合器将所述硅光波导中的光导入到所述薄膜铌酸锂波导中，以及将所述薄膜铌酸锂波导中的光导回至所述硅光波导中。本发明采用混合集成方式将薄膜铌酸锂调制器集成到硅光集成芯片，完成集成后的集成芯片既拥有高速调制器，也具有高速探测器。
主权项：1.一种将薄膜铌酸锂调制器集成到硅光集成芯片的工艺，所述薄膜铌酸锂调制器包括：硅光波导、薄膜铌酸锂波导和垂直绝热耦合器，其中所述工艺包括以下步骤：以单片集成的方式将锗硅结构探测器集成在硅光集成芯片中；由SOI晶圆的顶层硅刻蚀形成所述硅光波导；将薄膜铌酸锂波导贴合在硅光集成芯片上对应于硅光波导的位置处；通过垂直绝热耦合器将所述硅光波导中的光导入到所述薄膜铌酸锂波导中，以及将所述薄膜铌酸锂波导中的光导回至所述硅光波导中，硅光集成芯片的第一金属层作为所述薄膜铌酸锂调制器的行波调制电极，硅光集成芯片的第二金属层作为所述薄膜铌酸锂调制器的电输入信号的电接触接口，所述第一金属层形成CPW形式的行波电极传输线，射频信号的馈入通过所述第二金属层完成。
全文数据：
权利要求：
百度查询： NANO科技(北京)有限公司 将薄膜铌酸锂调制器集成到硅光集成芯片的工艺
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号