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一种复合型钙钛矿厚膜X射线探测器的制备方法 

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申请/专利权人:合肥市旭熠科技有限公司

摘要:本发明涉及光电探测器技术领域,提供了一种复合型钙钛矿厚膜X射线探测器的制备方法,首先采用无规共聚物对ITO或TFT基底进行预处理,之后将钙钛矿无规共聚物复合的钙钛矿悬浊液前驱浆料通过刮涂法直接制备成钙钛矿多晶厚膜,在顶部蒸镀Au共电极后,制备成复合型钙钛矿厚膜X射线探测器。本发明的优点在于:基于该方法所得厚膜不易脱落、龟裂,且晶界缺陷少,所得的基于ITO基底的钙钛矿X射线探测器具有优异的灵敏度、极低的X射线检测下限,所得的基于TFT基底的钙钛矿X射线探测器具有优异的空间分辨率。

主权项:1.一种复合型钙钛矿厚膜X射线探测器的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:(1)取无规共聚物溶解到有机溶剂中,得共聚物前驱液;所述无规共聚物为丙烯酸正丁酯-co-[N-羟甲基-丙烯酰胺]}、丙烯酸正丁酯-co-丙烯酰胺、丙烯酸正丁酯-co-丁烯酰胺中的一种;(2)取步骤(1)所得共聚物前驱液体刮涂在干净的ITO导电玻璃或TFT薄膜晶体管上,随后退火处理,得预处理的ITO或TFT基底;(3)取多晶钙钛矿前驱体粉体溶解到步骤(1)的共聚物前驱液中,得钙钛矿悬浊液前驱浆料;(4)采用刮涂法将步骤(3)得到的钙钛矿悬浊液前驱浆料涂覆在步骤(2)预处理的ITO或TFT基底上,并退火形成钙钛矿吸收层;(5)将步骤(4)得到的器件放入真空蒸镀仪中,蒸镀顶端Au共电极,得基于ITO或TFT基底的钙钛矿X射线探测器。

全文数据:

权利要求:

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