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申请/专利权人：三星显示有限公司

摘要：本申请涉及沉积设备。该沉积设备包括衬底支承件、掩模框架、多个精细金属掩模、多个第一外力施加器以及多个第二外力施加器，其中，衬底支承件配置成支承衬底的两侧；掩模框架设置在衬底支承件下方并具有框架形状；多个精细金属掩模设置在衬底支承件的下部部分下方并在第一方向上延伸，布置在与第一方向交叉的第二方向上，并且设置在掩模框架上；多个第一外力施加器设置在掩模框架的在第一方向上彼此相对的外侧表面上；多个第二外力施加器设置在掩模框架的在第一方向上彼此面对的内侧表面上。

主权项：1.沉积设备，包括：衬底支承件，配置成支承衬底的两侧；掩模框架，设置在所述衬底支承件下方并具有框架形状；平台，具有所述框架形状且设置在所述掩模框架下方；多个精细金属掩模，设置在所述衬底支承件的下部部分下方且在第一方向上延伸，布置在与所述第一方向交叉的第二方向上，并且设置在所述掩模框架上；多个第一外力施加器，设置在所述掩模框架的在所述第一方向上彼此相对的外侧表面上；以及多个第二外力施加器，设置在所述掩模框架的在所述第一方向上彼此面对的内侧表面上，其中，所述掩模框架通过所述多个第一外力施加器和所述多个第二外力施加器变形成与所述衬底对应的形状，其中，所述多个第一外力施加器和所述多个第二外力施加器沿着所述第一方向往复运动，以使所述掩模框架在所述第一方向上收缩或扩展，其中，所述多个第一外力施加器中的每一个包括：第一延伸部分，在所述第一方向上延伸；以及第一移动部分，连接至所述第一延伸部分，其中，所述第一延伸部分的一侧与所述外侧表面中的相应的外侧表面接触，以及所述第一延伸部分的另一侧连接至所述第一移动部分，其中，所述多个第二外力施加器中的每一个包括：第二延伸部分，在与由所述第一方向和所述第二方向限定的平面垂直的第三方向上延伸；第三延伸部分，在所述第一方向上从所述第二延伸部分的下端延伸；以及第二移动部分，连接至所述第三延伸部分的端部，其中，所述第二延伸部分的上部部分与所述内侧表面中的相应的内侧表面接触，以及其中，限定在所述掩模框架中的掩模开口与限定在所述平台中的平台开口重叠，以及所述多个第二外力施加器延伸穿过所述平台开口和所述平台的下部部分，并且设置在所述多个第一外力施加器的下部部分下方。

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权利要求：

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