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申请/专利权人：东莞汇驰真空制造有限公司
摘要：本实用新型公开了一种用于真空电子束蒸发镀膜设备辅助修正成膜的机构，其特征在于，包括以下结构：气缸、气缸密封座、修正气缸固定法兰、升降支座、联臂托板、气缸联臂、联臂销轴、修正杆固定座、修正杆摆臂、修正板；所述气缸和所述气缸密封座与所述气缸固定法兰输入侧连接，所述气缸联臂与所述修正杆固定座连接，所述升降支座与所述修正气缸固定法兰输出侧连接，所述修正杆固定座连接于所述升降支座上，所述修正杆摆臂与所述修正杆固定座连接。本发明用于蒸发镀膜作业可以提高作业稳定性，提高作业效率，降低材料损耗。
主权项：1.一种用于真空电子束蒸发镀膜设备辅助修正成膜的机构，其特征在于，包括以下结构：气缸、气缸密封座、修正气缸固定法兰、升降支座、联臂托板、气缸联臂、联臂销轴、修正杆固定座、修正杆摆臂、修正板；所述气缸和所述气缸密封座与所述气缸固定法兰输入侧连接，所述气缸联臂与所述修正杆固定座连接，所述升降支座与所述修正气缸固定法兰输出侧连接，所述修正杆固定座连接在所述升降支座上，所述修正杆摆臂与修正杆固定座连接。
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