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申请/专利权人：苏州明扬半导体材料有限公司
摘要：本实用新型属于光刻胶技术领域，具体的说是一种光刻胶涂布设备，包括涂布机、四个支撑辊和支撑装置，涂布机的侧壁固定连接有导辊组，四个支撑辊位于导辊组的侧壁；四个支撑辊的表面设有支撑装置，支撑装置包括底座，底座位于导辊组的侧壁，底座的表面转动连接有转盘，转盘的表面固定连接有四个支撑架，底座的表面设有调节装置，调节装置包括放置架和两个夹辊，放置架的侧壁和底座表面固定连接，两个夹辊位于放置架的上表面，放置架表面靠近夹辊两侧的位置均转动连接有螺纹杆；通过设置底座、转盘和支撑架能够支撑支撑辊，同时支撑块、固定块和定位销能够减少支撑辊乱动的情况，而限位销能够对转盘角度进行限制。
主权项：1.一种光刻胶涂布设备，包括涂布机1、四个支撑辊3和支撑装置4，所述涂布机1的侧壁固定连接有导辊组2，四个所述支撑辊3位于导辊组2的侧壁；其特征在于：四个所述支撑辊3的表面设有支撑装置4，所述支撑装置4包括底座41，所述底座41位于导辊组2的侧壁，所述底座41的表面转动连接有转盘42，所述转盘42的表面固定连接有四个支撑架43，所述支撑架43的表面开设有两个放置槽44，所述支撑辊3插设在支撑架43的两个放置槽44内壁。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州明扬半导体材料有限公司 一种光刻胶涂布设备
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