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申请/专利权人：曼弗莱德智能制造(江苏)有限公司
摘要：本实用新型公开了一种硅晶棒表面清洗装置及清洁设备，属于硅晶棒清洁技术领域，包括沿所述输送线体输送方向依次设置的除尘装置及清洗装置；所述除尘装置对硅晶棒表面进行除尘处理；所述清洗装置包括框架以及位于所述框架内的若干组清洗组件，一清洗组件对硅晶棒顶面进行清洗，两组清洗组件分别对硅晶棒两侧进行清洗；所述清洗组件包括安装面板、收卷电机、放卷滚轮、收卷滚轮、擦拭滚轮以及喷头，所述喷头将清洗液喷洒在无尘布上，无尘布呈依次经放卷滚轮、擦拭滚轮以及收卷滚轮设置，所述收卷电机驱动所述收卷滚轮对无尘布进行收卷。本实用新型将硅晶棒表面的杂质颗粒去除，避免影响后续切割形成的硅片，提升硅片的合格率，降低硅片的生产成本。
主权项：1.一种硅晶棒表面清洗装置，对位于输送线体100上的硅晶棒进行清洗，其特征在于，所述清洗装置200包括框架10以及位于所述框架10内的若干组清洗组件20，一清洗组件20对硅晶棒顶面进行清洗，两组清洗组件20分别对硅晶棒两侧进行清洗；所述清洗组件20包括安装面板21、收卷电机22、放卷滚轮23、收卷滚轮24、擦拭滚轮25以及喷头26，所述喷头26将清洗液喷洒在无尘布上，无尘布呈依次经放卷滚轮23、擦拭滚轮25以及收卷滚轮24设置，所述收卷电机22驱动所述收卷滚轮24对无尘布进行收卷。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 曼弗莱德智能制造(江苏)有限公司 一种硅晶棒表面清洗装置及清洁设备
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