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申请/专利权人：吉林大学
摘要：本发明提供一种基于金字塔阵列微结构的复合传感器及其制备方法，属于传感器制备领域。本发明首先提供一种基于金字塔阵列微结构的复合传感器，包括两个相对设置的多层结构，两个多层结构之间设有柔性介电层，所述的多层结构依次包括封装层、基底层和电极层；所述的基底层和电极层设有金字塔微纳结构；所述的在两层电极层同侧的一端设置测量电容的导电通路，在任一个电极层的两端设置测量电阻的导电通路。同时基于激光刻蚀技术，以金字塔为微型结构来源，利用棱锥结构对于力的高敏感性，对传感器电极层进行改造，从而显著提高传感器的灵敏度和测量范围，并使其具有宽线性范围的特性。
主权项：1.一种基于金字塔阵列微结构的复合传感器，其特征在于，包括两个相对设置的多层结构，两个多层结构之间设有柔性介电层，所述的多层结构依次包括封装层、基底层和电极层；所述的基底层和电极层设有金字塔微纳结构；所述的在两层电极层同侧的一端设置测量电容的导电通路，在任一个电极层的两端设置测量电阻的导电通路。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 吉林大学 一种基于金字塔阵列微结构的复合传感器及其制备方法
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