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申请/专利权人：武汉敏声新技术有限公司
摘要：本申请公开了一种体声波谐振器及其制备方法、滤波器，涉及半导体器件技术领域，本申请的体声波谐振器,包括衬底以及依次设置于衬底上的底电极、压电层、顶电极、支撑层和封装层，底电极与衬底之间形成第一空腔，顶电极与支撑层之间形成第二空腔，第一空腔、底电极、压电层以及顶电极沿层级方向重叠的区域为有效谐振区，支撑层和封装层在衬底上的投影覆盖有效谐振区在衬底上的投影。本申请提供的体声波谐振器及其制备方法，能够保护有效谐振区，避免外界环境对体声波谐振器的影响。
主权项：1.一种体声波谐振器，其特征在于，包括衬底以及依次设置于所述衬底上的底电极、压电层、顶电极、支撑层和封装层，所述底电极与所述衬底之间形成第一空腔，所述顶电极与所述支撑层之间形成第二空腔，所述第一空腔、所述底电极、所述压电层以及所述顶电极沿层级方向重叠的区域为有效谐振区，所述支撑层和所述封装层在所述衬底上的投影覆盖所述有效谐振区在所述衬底上的投影。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 武汉敏声新技术有限公司 一种体声波谐振器及其制备方法、滤波器
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