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申请/专利权人：广东汇成真空科技股份有限公司
摘要：本发明公开了一种利用磁控溅射镀铜提高锂电池电极性能的方法，涉及锂电池材料制造技术领域；该方法包括：将待处理的铜箔在净化房内进行裁切；其中，所述铜箔为电解铜箔或甚低轮廓铜箔；将裁切后的所述铜箔置于等离子体反应室中，对裁切后的所述铜箔的表面进行等离子活化处理；在所述预设工艺条件下，采用磁控溅射镀铜的方式，在锂电池电极铜箔的上下表面均镀上预设厚度的薄膜铜层；对镀有所述薄膜铜层的所述锂电池电极铜箔进行化学电镀，将所述锂电池电极铜箔两面的所述薄膜铜层的厚度电镀至1微米；本发明提高了作为锂离子电池材料的铜箔的特性。
主权项：1.一种利用磁控溅射镀铜提高锂电池电极性能的方法，其特征在于，包括：将待处理的铜箔在净化房内进行裁切；其中，所述铜箔为电解铜箔或甚低轮廓铜箔；将裁切后的所述铜箔置于等离子体反应室中，对裁切后的所述铜箔的表面进行等离子活化处理；其中，对裁切后的所述铜箔的表面进行等离子活化处理包括：通过在所述等离子体反应室中施加高频电场产生等离子体；产生的所述等离子体与裁切后的所述铜箔的表面相互作用，致使裁切后的所述铜箔的表面的原子和分子的重新结合与离解；将经过等离子活化处理后的所述铜箔固定在真空磁控溅射镀膜设备的放卷辊位置；将所述真空磁控溅射镀膜设备调整至预设工艺条件；其中，所述预设工艺条件包括：镀膜速度设置在每分钟0.2至5米的区间内，镀膜温度设置在80至200摄氏度的区间内；工艺压强设置在0.1至0.7帕的区间内，离子源功率设置在0.1至5千瓦的区间内，直流磁控溅射阴极功率设置在0.3至30千瓦的区间内，真空度设置为高于0.002帕；在所述预设工艺条件下，采用磁控溅射镀铜的方式，在锂电池电极铜箔的上下表面均镀上预设厚度的薄膜铜层；对镀有薄膜铜层的所述锂电池电极铜箔进行化学电镀，将所述锂电池电极铜箔两面的所述薄膜铜层的厚度电镀至1微米。
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