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申请/专利权人：安徽安努奇科技有限公司
摘要：本发明提供了一种异质集成滤波器及其制备方法、电子设备，涉及滤波器技术领域，该异质集成滤波器包括：在第一方向上相对设置的第一基板和第二基板；位于所述第一基板面向所述第二基板一侧的声学功能结构，所述声学功能结构包括在所述第一方向上依次层叠设置的下电极层、压电层和上电极层；贯穿所述第二基板的多个通孔，部分所述通孔内设置有金属层，部分所述通孔内在第二方向上依次设置有由第一金属层、介电层和第二金属层形成的立体电容。即该异质集成滤波器将部分通孔用于制备立体电容，实现将传统的平面电容改进为立体电容的目的，可极大程度的增加异质集成滤波器的集成度，减小尺寸。
主权项：1.一种异质集成滤波器，其特征在于，所述异质集成滤波器包括：在第一方向上相对设置的第一基板和第二基板，所述第一方向垂直于所述第一基板所在平面，且由所述第一基板指向所述第二基板；位于所述第一基板面向所述第二基板一侧的声学功能结构，所述声学功能结构包括在所述第一方向上依次层叠设置的下电极层、压电层和上电极层；贯穿所述第二基板的多个通孔，部分所述通孔内设置有金属层，部分所述通孔内在第二方向上依次设置有由第一金属层、介电层和第二金属层形成的立体电容，所述第二方向垂直于所述通孔的长度延伸方向。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 安徽安努奇科技有限公司 一种异质集成滤波器及其制备方法、电子设备
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