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基于太阳能薄膜电池的多通道Poly-Si膜厚测试仪 

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申请/专利权人:苏州上器试验设备有限公司

摘要:本发明公开了一种基于太阳能薄膜电池的多通道Poly‑Si膜厚测试仪,包括主壳体和支架;主壳体内安装有稳压电源、LED光源、传输光纤和光谱仪;LED光源与传输光纤连接;传输光纤包括主光纤、副光纤和分支光纤,主光纤与LED光源连接,副光纤包括多根入射光芯和一根反射光芯;反射光芯通过分支光纤与光谱仪连接;入射光芯将光信号传输至被测样品,被测样品反射的光信号由反射光芯收集,通过分支光纤传输至光谱仪;主壳体上设有校准平台,校准平台上设有入射光孔;校准平台上还设有反射镜。本发明可实现多通道的高效率测量,具有较高的测试便捷性和高效性,实现了校准与测试一体化的同时确保了较高的测试数据点精确度及稳定性。

主权项:1.一种基于太阳能薄膜电池的多通道Poly-Si膜厚测试仪,其特征在于,包括主壳体和安装于主壳体上的支架;所述主壳体内安装有稳压电源、LED光源、传输光纤和光谱仪;所述LED光源与所述传输光纤连接;所述传输光纤包括主光纤、副光纤和分支光纤,所述主光纤的外端与所述LED光源连接,所述副光纤设置有多根,每根副光纤包括多根入射光芯和一根反射光芯;所述反射光芯通过分支光纤与所述光谱仪连接;所述入射光芯将光信号传输至被测样品表面,被测样品反射的光信号由所述反射光芯收集,通过所述分支光纤传输至所述光谱仪;所述主壳体上设有校准平台,所述校准平台上设有供所述光信号穿过的入射光孔;所述校准平台上还设有反射镜;所述校准平台能够通过移动将反射镜置于光信号传输路径上,以进行光源校准。

全文数据:

权利要求:

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