首页 专利交易 科技果 科技人才 科技服务 国际服务 商标交易 会员权益 IP管家助手 需求市场 关于龙图腾
 /  免费注册
到顶部 到底部
清空 搜索

一种多轴调节微力找平调节装置及调节系统 

买专利卖专利找龙图腾,真高效! 查专利查商标用IPTOP,全免费!专利年费监控用IP管家,真方便!

申请/专利权人:深圳市四元数数控技术有限公司

摘要:本发明公开了一种多轴调节微力找平调节装置及调节系统,属于微力找平调节装置技术领域,在使用本装置的时候调节平台可以作为放置物件的平台,在平面运动的时候不用调节移动板部,因此移动板部底部则为平面结构适应平面,在移动的时候机械腿部可以作为移动部来进行移动,升降部配合角度调节部实现扩大机械腿部支撑面或者调节机械腿部适应不同的高度,从而对于更换更大的调节平台起到稳定支撑的功能,在光刻机内进行移动的时候,则调节移动板部使其适应光刻机内位置的结构,在移动的时候同样调节移动板部适应移动的结构。

主权项:1.一种多轴调节微力找平调节装置,包括底座(2),以及底座(2)顶部采用电动伸缩杆(5)通过万向轴安装有调节平台(1);其特征在于:底座(2)为向下直径递减的锥形体结构,并位于底座(2)的外壁沿着底座(2)轴向开设有侧限位滑槽(201);侧限位滑槽(201)内底部安装有角度调节部,该角度调节部调节安装有升降部;升降部输出端驱动有机械腿部,该机械腿部支撑地面的一端铰接有移动板部。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 深圳市四元数数控技术有限公司 一种多轴调节微力找平调节装置及调节系统

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。