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申请/专利权人：新唐科技日本株式会社
摘要：探头单元20具备：第一探头30及第二探头40，具有弹性复原力；探头固定部件24，将第一探头30及第二探头40固定；以及探头贯通部件23，从探头固定部件24离开地配置在探头固定部件24的下方，形成有第一探头30及第二探头40分别贯通的第一贯通孔26a及第二贯通孔26b；探头贯通部件23具有与检查对象对置的对置面21u；第一探头30及第二探头40中的从对置面21u向下方突出的部分在上下方向上移动自如；在第一探头30及第二探头40不与检查对象接触的状态下，第一探头30的下端31比第二探头40的下端41靠下方。
主权项：1.一种探头单元，包含用来对检查对象供给电流的电流电路的一部分，其特征在于，具备：第一探头及第二探头，包含在上述电流电路中，具有弹性复原力；探头固定部件，将上述第一探头及上述第二探头固定；以及探头贯通部件，从上述探头固定部件离开地配置在上述探头固定部件的下方，形成有上述第一探头及上述第二探头分别贯通的第一贯通孔及第二贯通孔；上述探头贯通部件具有上述第一探头及上述第二探头所贯通的与上述检查对象对置的对置面；上述第一探头及上述第二探头中的从上述对置面向下方突出的部分在上下方向上移动自如；在上述第一探头及上述第二探头不与上述检查对象接触的状态下，上述第一探头的下端比上述第二探头的下端靠下方。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 新唐科技日本株式会社 探头单元、检查装置、检查系统、检查方法及半导体激光装置的制造方法
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